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                      • 商品名称: 高损伤阈值基片
                      • 商品编号: D160
                      • 浏览次数: 1034

                      对材料的要求:

                      材料:康宁7980、贺利氏312等熔石英

                      折射率nd允许差值:±4×10-6

                      色散系数vd允许差值:±0.2%

                      光学均匀性:±2×10-6

                      应力双折射:2-5nm/c

                      技术指标:

                      (圆形)直径/(方形)对角线(mm

                      径厚比

                      光洁度(S/D

                      透射PV@λ=632.8nm

                      平行度

                      表面粗糙度Rqnm

                      通光口径

                      厚度公差(mm

                      交期

                      30-60

                      10:1

                      5-1

                      1/10λ

                      10”

                      0.2

                      90%

                      ±0.05

                      7

                      60-150

                      10:1

                      5-1

                      1/6λ

                      10”

                      0.2

                      90%

                      ±0.05

                      7

                      150-280

                      10:1

                      10-5

                      1/4λ

                      10”

                      0.3

                      90%

                      ±0.05

                      8

                      加工方式:改进后的古典抛光

                      加工流程:粗磨→精磨→初抛→精抛→超抛

                      关键控制:磨料的选择及不同磨料的去除量控制

                       

                      高损伤阈值基片表面达到超光滑水平,同时具有极低的亚表面损伤,超高的抗激光损伤阈值,适用于高强激光系统。经过蚀刻检测,高损伤阈值基片的表面几乎不存在抛光水解层和亚表面缺陷,残留的抛光应力极小、抛光杂质极少,蚀刻前后面形精度、光洁度级表面粗糙度变化量极小。

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